審查作業分為初評及複評，其作業程序如下：
一、初評：由中央主管機關就申請者檢送之文件與資料進行審查是否符合
第三條及
第四條之規定；通過初評之申請者，取得複評資格。
二、複評：
（一）取得專利：由評選小組就專利商品化之可行性，排定獎勵之優先順序。
（二）技術研發：由評選小組就申請研發之技術，審查可應用於既有商品之實用性或具有商品化的潛力，並就通過審查案件者，排定獎勵之優先順序。
前項審查作業必要時得進行實地現勘，或要求申請者提出相關實驗數據、半成品及其他足資證明之驗證文件。
第8條
申請案件獎勵額度如下：
一、取得專利：以申請人申請專利支出之相關費用為限，且每案不得逾新臺幣（以下同）二萬元。
二、技術研發：最高以申請案件總經費之百分之五十為限，且每案不得逾二十萬元。
第9條
申請案件獎勵金撥付方式如下：
一、取得專利：通過審查後，由申請人檢附申請專利相關費用憑證，向中央主管機關請領獎勵金。
二、技術研發：
（一）第一期款：通過審查後撥付獎勵額度之百分之十五。
（二）第二期款：經中央主管機關認可期中成果後，撥付獎勵額度之百分之十五。
（三）第三期款：經中央主管機關認可總成果後撥付獎勵額度之百分之七十。
第10條
本辦法自發布日施行。
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